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碳化硅作为新一代宽禁带半导体材料，在高温，高频，高功率，抗辐照电子器件中有着十分广阔的潜在应用前景，文章结合作者的工作，综述了离子束技术在ＳｉＣ研究中的应用，其中包括ＳｉＣ的合成，掺杂，器件隔离和智能剥离。
宽禁带半导体SiC的离子束合成,掺杂隔离与智能剥离
【摘 要】
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碳化硅作为新一代宽禁带半导体材料，在高温，高频，高功率，抗辐照电子器件中有着十分广阔的潜在应用前景，文章结合作者的工作，综述了离子束技术在ＳｉＣ研究中的应用，其中包括ＳｉＣ的合成，掺杂，器件
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1998年5期
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