【摘 要】
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采用多源磁控溅射技术在玻璃衬底上制备Ga、Al共掺杂氧化锌（GAZO）/Ag/GAZO透明导电薄膜。对比实验发现通入O2溅射Ag能够提高薄膜在600-800 nm波段的光透射率。进一步优化后发现，在O2流量为1.0 sccm的条件下，12 nm的Ag获得连续结构，提升GAZO/Ag/GAZO薄膜的光电性能。在空气中经1小时150℃退火处理，GAZO/Ag/GAZO薄膜的光电性能和结构性能都得到提升
【基金项目】
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国家自然科学基金（12074441）； 广东省教育厅青年创新人才项目（2017KQNCX136）； 广东石油化工学院科研基金（2017rc20）； 广东石油化工学院2021年大学生创新创业训练计划项目（73321005）；
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采用多源磁控溅射技术在玻璃衬底上制备Ga、Al共掺杂氧化锌（GAZO）/Ag/GAZO透明导电薄膜。对比实验发现通入O2溅射Ag能够提高薄膜在600-800 nm波段的光透射率。进一步优化后发现，在O2流量为1.0 sccm的条件下，12 nm的Ag获得连续结构，提升GAZO/Ag/GAZO薄膜的光电性能。在空气中经1小时150℃退火处理，GAZO/Ag/GAZO薄膜的光电性能和结构性能都得到提升。退火后薄膜方块电阻为8.99Ω/sq,380-780 nm可见光波段平均透射率为98.17%，品质因子高达2260Ω-1。GAZO/Ag/GAZO透明导电薄膜显示出优异的光电性能，有望替代铟锡氧化物薄膜用于光电器件领域。
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