【摘 要】
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为了在半圆周上准确进行激光刻蚀，以刻制热流传感器的半球形铂电阻，满足热流测点的精确定位，采用了一种基于视觉成像系统定位加工点的方法，进行了理论分析和实验验证，取得了铂电阻
【机 构】
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中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所,电子科技大学光电信息学院
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为了在半圆周上准确进行激光刻蚀，以刻制热流传感器的半球形铂电阻，满足热流测点的精确定位，采用了一种基于视觉成像系统定位加工点的方法，进行了理论分析和实验验证，取得了铂电阻较高的定位数据。该方法首先通过背光照明使半球边缘轮廓清晰可见，通过提取边缘上的4个点坐标，计算并定位到半球顶点；旋转平台，补偿偏差值，实现精确定位加工点；最后对成型的半球形热流传感器电阻位置进行测量验证。结果表明，该方法具有良好的定位效果，刻蚀制作的球半径相对误差约为0．39％，载物平台旋转角度相对误差控制在3．9％，解决了定位半球顶点问
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