【摘 要】
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用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法模拟了ＧａＡｓ（００１）面的邻晶面上的分子束外延的生长过程，模拟的基本模型是常用的ＳＯＳ模型，结果显示在Ａ类邻晶面上二维成核模式起主委作用，但在Ｂ类邻晶面低温下是二维成核模式起主要作用，但在
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用ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ方法模拟了ＧａＡｓ（００１）面的邻晶面上的分子束外延的生长过程，模拟的基本模型是常用的ＳＯＳ模型，结果显示在Ａ类邻晶面上二维成核模式起主委作用，但在Ｂ类邻晶面低温下是二维成核模式起主要作用，但在高温下台阶成核模式成了主要的成核模式．另外在高温和低温下都存在成核原子数的饱和现象．
The growth process of molecular beam epitaxy on the orthorhombic plane of GaAs (001) plane was simulated by Monte Carlo method. The simulated basic model is a common SOS model. The results show that the two-dimensional nucleation mode on the class A adjacent crystal plane acts as the host However, the two-dimensional nucleation mode plays a major role at the low temperature of the B-type nematic plane. However, the high-temperature nucleation mode is the main nucleation mode. In addition, there is saturation of the number of nucleation atoms at both high and low temperatures.
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