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针对目前集成电路系列课程实验所需集成电路工艺设备仪器价格昂贵、一般高校难以开设相关实验课程的实际问题，该文引入以“无生产线的集成电路器件、工艺和测试”为理念的虚拟仿真教学实验，对集成电路系列课程建设和教学改革进行研究。实践表明，虚拟仿真技术克服了传统集成电路实验教学中的种种弊端，不但节省了教学资源，还改善了教学质量，激发了学生的创造力，培养了其工程实践能力。