磁控溅射法制备SiN薄膜研究(英文)

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One of the most important problems facing poly silicon solar cell is the defects within the material. These defects could recombine with the photo-induced carriers; consequently reduce the minority carrier lifetime and the conversion efficiency of solar cells. Silicon nitride One of the most important problems facing poly silicon solar cell is the defects within the material. These defects could recombine with the photo-induced carriers; reduce reduce minority carriers lifetime and the conversion efficiency of solar cells. Silicon nitride
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