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目前对于小曲率半径微电极的介质阻挡放电还有待深入的研究,而微腔结构是典型的小曲率半径微电极,易于产生表相放电。本文主要对微腔结构的放电发展特性进行研究,分析了未放电时单个微腔电势分布,并建立其放电发生的等效电路模型,并且利用实验获得的Lissajous图形对不同电压下的平均放电功率、等效电容、放电气隙电压和放电通道传输的电荷量进行计算,分析变化情况,以期能够为相关人士提供借鉴和参考。