论文部分内容阅读
EvG620NT和EVG6200NT光刻机分别可以处理从小于5mm到150mm和从3英寸到200mm衬底，拥有一系列最先进的功能和特点，包括一个花岗岩基座、主动式隔振装置和线性马达，以达到更高的精度和生产量要求。拥有了这些建立在EVG最灵活全面的对准平台上的新系统，生产商只需进行简单的一对一转换，将手动型号转换成全自动机台，就能很容易地实现从研发到量产之间的过渡。