一种用于湿度监测的LC无线无源传感器的制备与测试

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提出了一种采用丝网印刷和亚胺化工艺制备的LC无线无源技术的二硫化钼(MoS2)/聚酰亚胺(PI)湿度传感器.对比了不同超声时间下的二硫化钼/聚酰亚胺复合材料的湿度敏感性能,得出对湿度最灵敏的材料为超声4h的二硫化钼/聚酰亚胺材料.测试结果表明,制备的器件在量程10%RH~95%RH内具有较好的频率响应,频率变化值为6.205 MHz;在高湿度范围内(60%RH~95%RH),传感器的灵敏度可达153.59 kHz/%RH.此外,该传感器的响应和恢复时间分别为7.2s和10.4s,迟滞性误差约为5%RH且具有较好的稳定性.该传感器可广泛应用于化学合成和矿井环境等领域的湿度监测.
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