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本７文对红外光学材料锗的蚀刻性能、机制进行了深入的研究，在反应离子蚀刻实验基础上，建立了锗材料蚀刻材料与ＲＩＥ工艺参量的关系，经过大量的实验，找到了稳定蚀刻速率的方法和条件，为用ＲＩＥ形成高精度衍射光学元件积累了实用经验。
RIE精确传递微光学三维鱼红外材料的方法
【摘 要】
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本７文对红外光学材料锗的蚀刻性能、机制进行了深入的研究，在反应离子蚀刻实验基础上，建立了锗材料蚀刻材料与ＲＩＥ工艺参量的关系，经过大量的实验，找到了稳定蚀刻速率的方法和条件，为用
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1999年9期
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