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半导体金刚石材料研究进展评述
半导体金刚石材料研究进展评述
来源 :硅酸盐通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qmdx521
【摘 要】
:
本文描述了金刚石的电学性能与作为半导体材料的应用前景,介绍了半导体金刚石研究及其器件的发展动态,评述了半导体金刚石合成、掺杂和器件制作中存在的技术问题,指出今后应
【作 者】
:
陈天鹏
郑秋梅
【机 构】
:
人工晶体研究所,人工晶体研究所
【出 处】
:
硅酸盐通报
【发表日期】
:
1992年6期
【关键词】
:
金刚石
离子注入
电性
半导体
diamond
semicondutor
electrical properties
doping
ion implan
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本文描述了金刚石的电学性能与作为半导体材料的应用前景,介绍了半导体金刚石研究及其器件的发展动态,评述了半导体金刚石合成、掺杂和器件制作中存在的技术问题,指出今后应用研究中需要解决的问题.
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