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给出一种基于SOI材料结构紧凑的新颖AWG器件，它是将一个全内反射波导镜插入原波导阵列中间，并且利用全内反射时产生的相位差进行TE、TM模偏振补偿的方法，该器件具有尺寸小、制作工艺简单等特点。同时，给出一些实验结果，实验结果证实这种结构的AWG器件是可行的。
一种新颖结构紧凑的AWG器件
【摘 要】
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给出一种基于SOI材料结构紧凑的新颖AWG器件，它是将一个全内反射波导镜插入原波导阵列中间，并且利用全内反射时产生的相位差进行TE、TM模偏振补偿的方法，该器件具有尺寸小、制作
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程学系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2002年6期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展规划项目 (编号 :G19990 3 3 10 4),,教育部高校骨干教师基金资助项目
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