【摘 要】
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随着特征尺寸（CD）的不断减小和套刻精度的不断提高,对AMC（气相分子污染物）引起的污染问题越来越重视。投影光刻机中对AMC的浓度的控制,通常使用高纯气体（如高纯氮气、超洁净干空气、超洁净湿空气等）"气浴"吹扫关键元器件,可有效阻断AMC的扩散、稀释AMC的浓度。阐述超洁净湿空气在投影光刻机中的应用以及超洁净湿空气的制备、湿度控制方法等。通过实验分析影响湿度控制的主要因素。
【机 构】
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
【基金项目】
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上海市高科技企业技术创新课题项目；
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随着特征尺寸（CD）的不断减小和套刻精度的不断提高,对AMC（气相分子污染物）引起的污染问题越来越重视。投影光刻机中对AMC的浓度的控制,通常使用高纯气体（如高纯氮气、超洁净干空气、超洁净湿空气等）"气浴"吹扫关键元器件,可有效阻断AMC的扩散、稀释AMC的浓度。阐述超洁净湿空气在投影光刻机中的应用以及超洁净湿空气的制备、湿度控制方法等。通过实验分析影响湿度控制的主要因素。
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