压电扫描器对SPM电场加工的影响

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：D159357

【摘要】

：

利用扫描探针显微镜(SPM)能够实现纳米级电子器件和机械器件的加工.压电扫描器是SPM电场加工中的重要部件,它实现了针尖的移动,使得SPM可在样品表面生成氧化结构.该文着重探

【作者】

：

郭彤胡晓东胡小唐

【机构】

：

天津大学

【出处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

压电扫描器单管式电场加工锆钛酸铅陶瓷(PZT) pizeo-scanner single tube fabrication in electrical

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利用扫描探针显微镜(SPM)能够实现纳米级电子器件和机械器件的加工.压电扫描器是SPM电场加工中的重要部件,它实现了针尖的移动,使得SPM可在样品表面生成氧化结构.该文着重探讨了单管式扫描器的结构以及压电陶瓷特性对SPM电场加工的影响,分析了多种误差来源,并给出了相应的解决方法,这有利于进一步改进纳米加工系统,提高电场加工的精度和重复性.

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