【摘 要】
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利用激光改性方法研究了被广泛应用在微电子组件封装中的氮化铝（AlN）陶瓷基板在不同气体环境、激光功率、扫描间隔下的可加工性,通过试验测量了AlN试件表面硬度值和元素含量。试验结果表明:在N2、Ar、O2三种气体环境下,试件表面成分主要为AlN、Al和Al2O3,且显微硬度计测得Ar环境下的熔覆层硬度最低,最有利于后续切削加工。在Ar环境下,随着激光功率的增大和扫描间隔的减小,AlN表面改性后的硬度
【机 构】
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南京航空航天大学直升机传动技术国家级重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（51905270,51975288）； 江苏省自然科学基金（BK20180435）； 南京航空航天大学“直升机传动技术重点实验室”开放课题（HTL-0-20G01）；
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利用激光改性方法研究了被广泛应用在微电子组件封装中的氮化铝（AlN）陶瓷基板在不同气体环境、激光功率、扫描间隔下的可加工性,通过试验测量了AlN试件表面硬度值和元素含量。试验结果表明:在N2、Ar、O2三种气体环境下,试件表面成分主要为AlN、Al和Al2O3,且显微硬度计测得Ar环境下的熔覆层硬度最低,最有利于后续切削加工。在Ar环境下,随着激光功率的增大和扫描间隔的减小,AlN表面改性后的硬度减小,最小值可达到174.83HV,更易进行切削加工。
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