【摘 要】
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依据严格耦合波理论和介质平板波导理论,基于MEMS（微机电系统）技术,利用周期可调谐的布拉格光栅设计了一种基于氮化铝的波长可调DFB-LD（分布反馈激光器）。采用梳齿状驱动器驱动光
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依据严格耦合波理论和介质平板波导理论,基于MEMS（微机电系统）技术,利用周期可调谐的布拉格光栅设计了一种基于氮化铝的波长可调DFB-LD（分布反馈激光器）。采用梳齿状驱动器驱动光栅动态调节,并利用有限元软件COMSOL对其在1 310nm波段进行模拟仿真。对激光器电场模式图进行分析,确定了DFB-LD的光栅结构参数。分析表明,激光器输出波长与光栅周期呈线性关系,且一个光栅周期对应多个不同的光栅高度值。在小于模式截止光栅高度的情况下呈20nm周期性分布。依据光栅周期和激射波长的关系,提出了制作1 290-
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