【摘 要】
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据《科技日报》1994年2月14日报道,日本三菱公司在20 C下,以白云母为衬底,用ICB法蒸镀成碳—60单晶薄膜,为半导体发展提供了一种新材料。ICB法是将原子或分子离子化,通过加
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据《科技日报》1994年2月14日报道,日本三菱公司在20 C下,以白云母为衬底,用ICB法蒸镀成碳—60单晶薄膜,为半导体发展提供了一种新材料。ICB法是将原子或分子离子化,通过加电压将离子加速后,蒸镀在衬底上的方法。使用ICB法可使碳—60分子规则排列,通过控制离子化和加速条件,可使所生成的碳—60单晶薄膜尺寸达到实用
According to “Science and Technology Daily” reported on February 14, 1994, Japan’s Mitsubishi Corporation at 20 C, to muscovite substrate, using ICB evaporation of carbon-60 single crystal film, for the development of semiconductor provides a new material . The ICB method is a method of ionizing atoms or molecules, accelerating ions by applying a voltage, and then vapor-depositing the ions on a substrate. ICB method can be used to make carbon -60 molecular arrangement, by controlling the ionization and acceleration conditions, can be generated by the carbon -60 single crystal film size to practical
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