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针对某精密工程测量仪器中的测控系统采集外设信息、分析处理测量的数据，并集中控制各设备的需求，从系统的整体设计考虑，实现了该系统控制器的硬件电路设计以及驱动程序开发。系统硬件采用ARM9处理器AT91RM9200芯片作为控制器的核心，对控制器进行了各部分电路的设计，同时基于实际需求完成应用程序的设计并对系统的测角误差进行分析，推导其形成机理。为了提高测量精度和方便操作，分析了系统横轴倾斜、竖轴倾斜、视准轴倾斜等引起的测量误差，通过建立数学模型、同时采用电子补偿器对系统进行补偿和校正。