【摘 要】
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离子注入结锑化铟探测器研究航空航天部○一四中心吴名权本文首先叙述了制备锑化铟注入结时,对注入元素、注入剂量、能量的一些考虑。对于1×10~(15)浓度的n型衬底、注入Mg~
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离子注入结锑化铟探测器研究航空航天部○一四中心吴名权本文首先叙述了制备锑化铟注入结时,对注入元素、注入剂量、能量的一些考虑。对于1×10~(15)浓度的n型衬底、注入Mg~+,能量为150keV,剂量为5×10~(13)/cm~2、实测结果为0.58μm。这与计算结果相吻合。
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