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一种纳米分辨率近场光学显微镜:光子扫描隧道显微镜
一种纳米分辨率近场光学显微镜:光子扫描隧道显微镜
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:strongit_likai
【摘 要】
:
报导了我们研制的一台光子扫描隧道显微镜。论述了原理,结构,光纤探讨制造,信号放大以及调试中解决的几个技术问题等。图像的横向分辨率优于10nm,纵向分辨率的1nm,扫描范围10μm×10μm。还
【作 者】
:
姚骏恩
吴世法
高崧
郭宁
商广义
初世超
贺节
夏德宽
李
【机 构】
:
中国科学院北京电子显微镜实验室,大连理工大学应用物理系,中国科学院半导体研究所
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1997年3期
【关键词】
:
近场光学显微镜
光子扫描隧道
显微镜
nearfield optical microscope photon scanning tunneling mi
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报导了我们研制的一台光子扫描隧道显微镜。论述了原理,结构,光纤探讨制造,信号放大以及调试中解决的几个技术问题等。图像的横向分辨率优于10nm,纵向分辨率的1nm,扫描范围10μm×10μm。还观察了云母,高密度聚乙烯HDPE高取向薄膜等透明材料以及铌酸锂波导的电光效应等。
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