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利用"沉积-扩散-凝聚”模型,模拟研究了在分子束外延生长中粒子沉积、表面扩散、粒子凝聚以及成核生长不同过程对生长形貌的影响.结果表明,在表面外延生长初期沉积层呈现出非常丰富的分形几何特征,通过控制生长参数,可以得到不同微结构的团簇.分析得出最大岛密度与沉积/扩散速率比的标度指数为1/3.此结果与文献中的理论分析结果一致.