【摘 要】
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利用改进的CVD法制备了（002）面取向生长的ZnO纳米线,通过光刻/剥离的自下而上的组装技术制备了基于单根ZnO纳米线的气敏元件,其中的ZnO纳米线直径为50-300nm,有效长度为2-10μm
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利用改进的CVD法制备了（002）面取向生长的ZnO纳米线,通过光刻/剥离的自下而上的组装技术制备了基于单根ZnO纳米线的气敏元件,其中的ZnO纳米线直径为50-300nm,有效长度为2-10μm.测试表明在室温条件下,元件对浓度为500μL·L-1的氧气和乙醇的灵敏度可以分别达到1.3和1.2,而气敏响应时间分别为10和5s,由于单根纳米线的一维小尺寸结构加剧了电流的自加热效应,因此元件在外界环境为室温的条件下的灵敏度才略有提高.
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