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微纳米科学技术作为二十一世纪的关键高新技术之一,将导致人类认识和改造世界能力的重大突破。而具有强烈交叉学科色彩的微系统(或微......
信息技术的飞速发展需要超高速的信息处理和巨大的存储容量,目前,以半导体和无机材料为基础的电子技术几乎已经达到了它们的极限,越来......
DEM技术 (Deepetching ,ElectroformingandMicroreplication )是继硅微加工技术和LIGA技术发展起来的一种全新的非硅三维微加工技......
研究了镁合金的约束刻蚀微加工方法.通过对电解过程中电极表面氢离子浓度变化以及刻蚀体系对镁合金的腐蚀速率的测量与分析,对一些......
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飞秒激光具有极短的脉冲宽度,这使它拥有极高的峰值功率,可以实现对任何材料的非热熔性加工。通过控制激光脉冲聚焦点在材料上的移动......