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以透明导电玻璃(TCO)为衬底,用硝酸锌水溶液作为电解液,研究了阴极还原沉积ZnO薄膜的反应机理和电化学行为.通过改变工艺条件来控制ZnO的生长速率,得到了粒径为10~15 nm的纳米ZnO薄膜.XRD分析显示纳米ZnO薄膜纯度高,呈纤锌矿结构.光学测试结果表明,在可见光区其透光度高达90%,禁带宽度为3.37 eV.