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探讨了快速化学气相沉积（ＣＶＤ）过程中球状热解碳的形成机制，实验发现，当沉积温度９５０℃，炉压６．６ｋＰａ，沉积气体流量小于０．１ｍ＾３／ｈ时，形成层状热解碳，而沉积气体流量为０．４～０．８ｍ＾３／ｈ形成球状热解碳，热解碳形貌随工艺条件的变化是碳沉积前过饱和度变化的结果。
快速CVD过程中球状热解碳的形成机制
【摘 要】
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探讨了快速化学气相沉积（ＣＶＤ）过程中球状热解碳的形成机制，实验发现，当沉积温度９５０℃，炉压６．６ｋＰａ，沉积气体流量小于０．１ｍ＾３／ｈ时，形成层状热解碳，而沉积气体流量为０．４～０．８ｍ＾３／ｈ形成球状热解碳，热解碳形貌随工艺条件的变化
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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西安交通大学学报
【发表日期】
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1998年2期
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