探讨了快速化学气相沉积（ＣＶＤ）过程中球状热解碳的形成机制，实验发现，当沉积温度９５０℃，炉压６．６ｋＰａ，沉积气体流量小于０．１ｍ＾３／ｈ时，形成层状热解碳，而沉积气体流量为......