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根据大面积离子束辅助沉积MgO薄膜的需要,本文研究了具有并行阳极结构的宽束矩形冷阴极潘宁离子源.在简要说明冷阴极潘宁离子源基本原理的基础上,分析了在设计宽束矩形的离子源中主要考虑的问题,并给出初步的实验结果.
宽束矩形冷阴极潘宁离子源研究
【摘 要】
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根据大面积离子束辅助沉积MgO薄膜的需要,本文研究了具有并行阳极结构的宽束矩形冷阴极潘宁离子源.在简要说明冷阴极潘宁离子源基本原理的基础上,分析了在设计宽束矩形的离子
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件研究所
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2003年2期
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