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电子束曝光机电定位控制系统脱机连调初探
电子束曝光机电定位控制系统脱机连调初探
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wwf5278
【摘 要】
:
本文介绍了在电子束曝光机中,电定位系统脱离电子束曝光机进行单独调试的一种方法,同时给出一组数学表达式和实验数据。这种方法采用通用仪器和设备,简便有效,在电定位系统实
【作 者】
:
邱小莎
【机 构】
:
机械电子工业部第48研究所
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1990年1期
【关键词】
:
电子束曝光机
定位
调试
控制系统
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本文介绍了在电子束曝光机中,电定位系统脱离电子束曝光机进行单独调试的一种方法,同时给出一组数学表达式和实验数据。这种方法采用通用仪器和设备,简便有效,在电定位系统实验中有实用意义
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