电子束刻蚀相关论文
金属钯（Pd）和铂（Pt）广泛应用于催化和传感领域,但Pd和Pt膜材料对氢气的灵敏度低、响应速度慢,在实际应用中有一定的局限性;纳米线比表......
采用电子束刻蚀技术在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）基底上制作高精度、大面积纳米量级的二维Thue-Morse型准周期光子晶体，并且对其远场衍射......
现代光学中，如何实现在纳米尺度上对光的调控是人们长期研究的问题，这对于能源和信息等领域的发展有着十分重要的研究意义。随着理论......
1 简介rn现在各种产业对衍射、折射式和混合式的微小光学器件有着强烈的需求.随着这一领域的快速发展,已为微小光学元件的制造、复......
介绍了利用电子束和 X射线束双曝光技术制作大高宽比高分辨率的 X射线聚焦或色散元件的新方法 (波长范围为 1～ 5 nm )。所制做的厚......
光分插复用器(OADM,optical add-drop multiplexer)是波分复用(WDM)光网络的关键元素,现在的光网络通信发展越来越迅猛,拥有高速度......
近年来，半导体纳米材料在晶体管、光电检测器、传感器等电学、光电学器件领域展现了广阔的前景。n型半导体材料ZnO，带隙宽（3.37eV），激子......
基于非线性拉曼散射的拉曼光谱技术在化学、食品安全、生物、医学、海关、国防以及环境等领域具有广泛而重要的应用价值。但由于拉......
实现一维ZnO纳米阵列的图案化是构筑基于此的纳米器件的必然要求。与通常用的单一方法相比，将自下而上（Bottom-Up）的生长技术与自上而......
ZnO纳米棒阵列具有很多优点，比如能增强光吸收、提高载流子收集效率和延长少数载流子寿命，这些优点广泛应用在场发射器件、气敏检测......
分类介绍了国内外加工纳米间隙电极的主要研究进展,并特别介绍了近期发展起来的一般光刻技术结合选择性化学沉积方法制备纳米间隙......
提出了一种用扫描电镜制作表面量子点、纳米孔和纳米线阵列的方法,该方法是在数字式扫描电镜的阴极自偏压电路中串联一个可控的负......
以拓展的三高斯邻近效应函数为基础，利用空间图形密度方法对电子刻蚀中的邻近效应进行修正，并对该方法的原理及实现步骤进行了较为详......
<正>作为艺术舞台上的一支奇皅,微雕艺术已经历了千年的历史〔1〕。在微雕艺术大师们的手中,哪怕是小小的针头、纤细的须发、寸方......
近年来，由于垂直对齐的ZnO纳米棒阵列拥有优异的光电性能以及在光电器件中具有潜在的应用前景，其结构特征的研究引起了人们的广泛关......
准周期光子晶体是介于周期性光子晶体和无序结构之间的一种结构,其晶格排列按照相应的准周期序列生成。本文主要研究了按照二维Thu......
如何实现光在硅基光波导和光纤中的高效耦合是集成光学发展中的一个重要课题。目前广泛应用的一种方法是在硅波导表面刻蚀光栅,从......
