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应用子域变换导出场的畸变函数，并给出畸变速率补偿法，以提高校正函数的逼近程度。
电磁场校正的子域变换和畸变速率补偿法
【摘 要】
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应用子域变换导出场的畸变函数，并给出畸变速率补偿法，以提高校正函数的逼近程度。
【机 构】
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山东工业大学自动化工程系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1996年2期
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