一种双环境力下的硅基MEMS执行器设计与分析

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基于发射过程引信保险机构的工作原理,设计了一种应用于双环境力下的MEMS执行器,建立了执行器中可动部件的动力学模型,研究了影响执行器工作的因素.应用有限元法在ANSYS/LS-DYNA软件下对MEMS执行器进行动力学仿真分析,得到执行器可动部件的运动曲线和整体的应力云图.计算结果表明,该执行器在引信的后坐环境和离心环境下均能可靠执行动作,并且具有结构紧凑、质量轻的特点. Based on the working principle of fuze insurance mechanism of launch process, a MEMS actuator applied in double environment was designed, and the dynamic model of the movable part in actuator was established and the factors affecting the operation of actuator were studied.The finite element method Method was used to simulate the MEMS actuator under the software of ANSYS / LS-DYNA to get the motion curve of the actuator and the whole stress cloud graph.The calculation results show that the actuator is used in fuze’s recoil environment and centrifugal environment All can reliably perform actions, and has a compact, light weight characteristics.
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