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超声换能器是引线键合系统的核心部件。给出了引线键合系统超声换能器的压电换能器和变幅杆的设计方法,设计了一款80kHz集成电路引线键合用超声换能器,运用ANSYS软件建立其有限元模型并进行了动力学仿真。瞬态分析结果显示,换能器在受电压激励振动后至少要经过500个周期才能进入正常键合工作状态。
引线键合系统超声换能器的设计与仿真分析
【摘 要】
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超声换能器是引线键合系统的核心部件。给出了引线键合系统超声换能器的压电换能器和变幅杆的设计方法,设计了一款80kHz集成电路引线键合用超声换能器,运用ANSYS软件建立其有
【机 构】
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浙江海洋大学船舶与机电工程学院,浙江海洋大学东海科学技术学院,舟山市知创科技开发有限公司
【出 处】
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机械设计与制造工程
【发表日期】
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2019年8期
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