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<正> 大家知道,纳米固体材料在当前急速发展的纳米科学与技术中占有突出的地位,它是一项面向21世纪的科学与技术,其发展具有广阔的应用前景。由于硅是当前最重要、产量最大、发展最快、用途最广泛的半导体材料。目前世界上95%以上的半导体器件是用硅做成的[1]。后来发展起来的非晶硅(α-Si)和微晶硅(μc-Si)薄膜又是研制太阳能电池、TFT薄膜晶体管以及在光敏、力敏、色敏等方面有着特殊的功能而受到重视。近些年,新兴起的纳米硅薄膜(nc-Si)由于其新颖的结构特征使它具有一系列不同于C-Si和α-S