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介绍一个六自由度奈米级精度测量机台（行程为25mm×25mm）之量测系统的组装及系统的校正，此六自由度奈米测量机分为两部份，第一部分为利用五根压电致动器所组成的四自由度（Z、巩、钞、良）补偿平台，用以补偿组装及加工误差。第二部份为利用V型导轨架构成之XY双轴滑轨平台，配合音圈马达之推动，使平台能达到XY轴向之定位移动。在本文中，除了报告量测系统的架设步骤及校正结果外，亦提出初步的控制结果。