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通过硅片高温热处理实验研究了热自理工艺和表面状态对硅片高温弯曲度变化的影响，高温工艺中坚直装片引起的形变较小，研磨硅片经过适当化学腐蚀可明显降低高温翘曲。
高温工艺中硅片的翘曲
【摘 要】
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通过硅片高温热处理实验研究了热自理工艺和表面状态对硅片高温弯曲度变化的影响，高温工艺中坚直装片引起的形变较小，研磨硅片经过适当化学腐蚀可明显降低高温翘曲。
【机 构】
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中南工业大学应用物理与热能工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1997年5期
【基金项目】
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硅材料国家重点实验室基金
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