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针对冰洲石的性能,在试验的基础上,研究出一套实用的、行之有效的晶体加工工艺。在重点讨论了化学机械抛光工艺同时,对加工后零件的表面质量、消光比及透过率进行了测试。结果表明,所采用的化学机械加工法可取得非常好的抛光效果。
冰洲石晶体的化学机械抛光研究
【摘 要】
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针对冰洲石的性能,在试验的基础上,研究出一套实用的、行之有效的晶体加工工艺。在重点讨论了化学机械抛光工艺同时,对加工后零件的表面质量、消光比及透过率进行了测试。结
【机 构】
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中国人民解放军装甲兵技术学院机械工程系,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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机械工程师
【发表日期】
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2008年08期
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