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对ＳＤＳ－２型电子束曝光机偏放系统进行了电磁场，电源，数字信号等三方面的抗干扰改造，因而扫描系统的干扰得到了较好的抑制，使用改造后的偏放系统扫出的版，图形质量和线条分辩率都得到了提高。
SDS—2型电子束曝光机偏放系统的抗干扰改造
【摘 要】
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对ＳＤＳ－２型电子束曝光机偏放系统进行了电磁场，电源，数字信号等三方面的抗干扰改造，因而扫描系统的干扰得到了较好的抑制，使用改造后的偏放系统扫出的版，图形质量和线条分辩率都得到了提
【机 构】
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山东工业大学自动化工程系,250061
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1997年2期
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