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研制具空阴极弧离子镀引弧器，分析了其工作原理及工作时序，给出了」它的关键部分的电路，介绍了它的离子镀引弧器的性能及特点。
电子式真空阴极弧离子镀引弧器的研制
【摘 要】
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研制具空阴极弧离子镀引弧器，分析了其工作原理及工作时序，给出了」它的关键部分的电路，介绍了它的离子镀引弧器的性能及特点。
【机 构】
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哈尔滨工业大学材料学院
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1999年6期
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