【摘 要】
：
针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEM
论文部分内容阅读
针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了静电、电磁、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征。通过对机器蚂蚁、微型飞机、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析 ,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论 ,为设计和制作微机器人等复杂微系统提供了理论依据
其他文献
以优质基础油为原料，添加适量的极压抗磨剂、抗氧抗腐剂、油性剂和降凝剂及其它等，研制高级的不锈钢制品拉伸油。经实际使用证明：该油品具有优良的润滑性、冷却性和抗磨拉伸性能
目的探讨尾型同源盒转录因子2(CDX2)与骨桥蛋白(OPN)在结肠腺癌组织的表达及其临床意义。方法采用免疫组织化学链霉菌抗生物素蛋白-过氧化物酶连接法检测CDX2和OPN在58例结肠
目的分析肛周脓肿及肛瘘术后为促进创面愈合应用中医祛腐生肌法联合京万红软膏的价值。方法 78例肛周脓肿及肛瘘择期手术患者作为本次调查对象,将其随机分为观察组和对照组,
随着光纤到户(fiber-to-the-fiber, FTTH)的逐渐普及,为了提升FTTH光网络的整体性能,如何使光纤在较小的弯曲半径下仍能保持较低的弯曲损耗是当今的研究热点。弯曲不敏感单模
随着我国农村金融行业的飞速发展,普惠金融为适应时代的发展潮流不断地对自身进行优化调整,逐渐地获得社会的广泛关注。基于社会此种背景下,互联网技术的优势对于普惠金融助
采用了不同振动器在中频无芯感应电炉上打结干振料的工艺,分析了影响中频感应电炉炉衬寿命的因素,研究了不同筑炉方式对电炉炉衬寿命的影响。实践表明,采用Jolter振动器打结
"政工干部学军事"要求的提出,反映了我军政治工作存在的诸多问题,政工干部不仅要注重军事素质的提高,更要通过反思这一问题,探寻制约我军政治工作发展的症结,采取相应的对策,
近年来,国家大力推进学校的素质教育,特别是以音乐审美为核心的艺术教育。根据中华人民共和国教育部制定的普通高中音乐课程标准,将普通高中的音乐教学内容分成六大模块进行
计算流体力学(CFD)是研究精馏塔内气液两相流动和传质的重要工具。本文介绍了板式塔和填料塔内气液流动状况,塔板上和填料层的流体力学模型,论述了国内外CFD技术在精馏塔流场