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作为手机、笔记本、台式机的主流显示设备．薄膜晶体管（TFT）发挥着重要的作用。目前，企业多采用非晶硅（a—Si）和低温多晶硅（LTPS）以提升TFT半导体的性能．但在性能和尺寸方面仍受到较多限制。金属氧化物作为半导体材料可有效提升平板显示器的迁移率．满足高解析度平板显示器的要求（〉10cm2/Vs）。与硅半导体T门相比．金属氧化物半导体具有能耗低、待机时间长、加工和使用便捷等优点。