基于PVDF的三维纳米谐振触发测头及定位系统

来源 :机械工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：war3mx1017

【摘要】

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微纳米三坐标测量机（Coordinate measuring machining, CMM）是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点，针对微纳米CMM中三维纳米测头的研究瓶颈，提出一种与现有机械接触式测头和光

【作者】

：

李志渤黄强先史科迪韩彬余惠娟

【机构】

：

合肥工业大学仪器科学与光电工程学院

【出处】

：

机械工程学报

【发表日期】

：

2015年2期

【关键词】

：

微纳米三坐标测量机三维纳米测头聚偏氟乙烯薄膜三维谐振触发测头三维谐振触发定位系统 micro-nano coordinating measuring m

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微纳米三坐标测量机（Coordinate measuring machining, CMM）是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点，针对微纳米CMM中三维纳米测头的研究瓶颈，提出一种与现有机械接触式测头和光学非接触式测头工作原理完全不同的、可达到纳米/亚纳米量级触发分辨力的新型谐振测头。利用聚偏氟乙烯（Poly vinylidene fluoride, PVDF）薄膜的压电特性和其谐振参数对微小作用力的高敏感性，PVDF薄膜与一体式光纤微测杆测球相结合构建成了基于PVDF薄膜的三维纳米谐振触发测头。该测头

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