【摘 要】
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微驱动精密定位技术应用特点：以高分辨率（１０ｎｍ）、高速（ｍｓ级响应时间）实现微驱动定位。组成：微位移驱动系统，单模光纤耦合台，六维精密微调台，两维精密微调镜座。用途：能动光学器件，光学，微电子加
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微驱动精密定位技术应用特点：以高分辨率（１０ｎｍ）、高速（ｍｓ级响应时间）实现微驱动定位。组成：微位移驱动系统，单模光纤耦合台，六维精密微调台，两维精密微调镜座。用途：能动光学器件，光学，微电子加工，激光领域等。评价：１９９４年通过了中国科学院鉴定，...
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