带有腔面非注入区的大功率808mm GaAs/AlGaAs激光二级管列阵

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报导了带有腔面非注入区的808nm GaAs/AlGaAs激光二极管列阵的制作过程和测试结果。在器件前后腔面处引入25μm非注入区,填充密度为17%的1cm激光二级管列阵最高连续输出功率达87W,热沉温度是25℃,抗COD能力比没有非注区的激光二极管列阵高40%。器件在连续15W下恒功老化,工作寿命超过5000h。
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