【摘 要】
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设计了一台抑制空间行波管多级降压收集极二次电子发射的、专用离子束处理设备。研究了Mo原子沉积速率对二次电子发射系数和表面织构的影响。无氧铜片基底上的试验结果表明，二
【机 构】
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大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室,阴极室
【基金项目】
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国家科技支撑计划空间行波管课题下属的子课题.本工作得到大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室的支持.
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设计了一台抑制空间行波管多级降压收集极二次电子发射的、专用离子束处理设备。研究了Mo原子沉积速率对二次电子发射系数和表面织构的影响。无氧铜片基底上的试验结果表明，二次电子发射系数与Mo原子的沉积速率和表面织构密切相关。处理过程中基底温度起着重要作用。采用优化工艺得到的二次电子发射系数最大值下降到0．65，低于未经处理无氧铜基片的一半。初步试验表明，采用离子处理的多级降压收集极后，K和Ka波段的行波管的整管效率获得明显提高。
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