【摘 要】
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本文介绍用于微型机械ＬＩＧＡ工艺的精密电铸设备。文内给出了精密电铸设备的技术参数、系统结构、软件流程及初步实验效果。此设备填补了国内微机械精密电铸设备的空白。
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本文介绍用于微型机械ＬＩＧＡ工艺的精密电铸设备。文内给出了精密电铸设备的技术参数、系统结构、软件流程及初步实验效果。此设备填补了国内微机械精密电铸设备的空白。
This article describes the precision electroforming equipment used in the micromachining LIGA process. The article gives the precision electroforming equipment technical parameters, system structure, software flow and preliminary experimental results. This equipment to fill the domestic micro-precision electroforming equipment blank.
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