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以前期研究工作为基础，分析了气浮式工作台由于微小自激振动的产生，而引起其定位精度劣化的内在原因。提出了通过减小节流孔孔径，改变节流孔结构形式等方法来抑制工作台自激振动的技术方案，并对其进行了理论计算和实验验证，结果表明采用这种方法可以取得良好的效果。
节流孔特性对抑制气浮工作台自激振动的效果研究
【摘 要】
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以前期研究工作为基础，分析了气浮式工作台由于微小自激振动的产生，而引起其定位精度劣化的内在原因。提出了通过减小节流孔孔径，改变节流孔结构形式等方法来抑制工作台自激振动
【机 构】
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东京电机大学
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1998年05期
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