【摘 要】
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文章以某企业硅烷废气焚烧处理系统为研究对象，介绍了先进的硅烷处理工艺，分析了系统在不同炉膛温度、停留时间、燃料供热下的净化效率，核算了系统余热回收、能源节约、资源转换、现有资源合理使用的经济数值。经过分析，两种供热方式下，炉膛温度850-900℃、停留时间1.5s左右，本系统硅烷等有机物净化效率较高，达98%以上；运行期间系统压力波动小、防堵塞能力强；具有85%以上余热回收效率，在节能降耗、资源化
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文章以某企业硅烷废气焚烧处理系统为研究对象，介绍了先进的硅烷处理工艺，分析了系统在不同炉膛温度、停留时间、燃料供热下的净化效率，核算了系统余热回收、能源节约、资源转换、现有资源合理使用的经济数值。经过分析，两种供热方式下，炉膛温度850-900℃、停留时间1.5s左右，本系统硅烷等有机物净化效率较高，达98%以上；运行期间系统压力波动小、防堵塞能力强；具有85%以上余热回收效率，在节能降耗、资源化利用方面优势显著；合理使用厂区现有沼气，减少天然气的消耗，降低运行费用、提高经济效益。
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