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将从半导体制造设备排出的台有硅烷系气体的废气通过以固体金属氧化物为主要成分的填料层，高效率地除去该硅烷系气体，至少使浓度降低到0．5ppm以下。
硅烷系废气的高效处理方法
【摘 要】
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将从半导体制造设备排出的台有硅烷系气体的废气通过以固体金属氧化物为主要成分的填料层，高效率地除去该硅烷系气体，至少使浓度降低到0．5ppm以下。
【机 构】
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不详,光明所,中国科学院半导体材料研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1986年2期
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