【摘 要】
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在大规模集成电路生产中，对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度，自动化的线宽测量仪。阐述了其原理，构成及设计中有关问题。经实验表明
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在大规模集成电路生产中，对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度，自动化的线宽测量仪。阐述了其原理，构成及设计中有关问题。经实验表明：该仪器的重复测量精度≤±０．００５μｍ；测量精度为±０．０２μｍ。
In large-scale integrated circuit production, on-line detection of reticle width and silicon line width is an important measure to ensure quality. This article describes a high-precision, automated line width gauge. Explain its principle, composition and design of the relevant issues. The experiments show that: the instrument’s repeated measurement accuracy ≤ ± 0.005μm; measurement accuracy of ± 0.02μm.
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