【摘 要】
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针对原子力显微镜(AFM)以纳米管针尖在轻敲模式下测量纳米尺度线宽的问题,依据振动学和数学形态学理论,提出了微悬臂的振动模型,描述了针尖振动轨迹,并仿真了不同条件下测量
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针对原子力显微镜(AFM)以纳米管针尖在轻敲模式下测量纳米尺度线宽的问题,依据振动学和数学形态学理论,提出了微悬臂的振动模型,描述了针尖振动轨迹,并仿真了不同条件下测量标准样品所得图像.仿真结果表明:纳米管轮廓和振动都使线宽测量结果产生膨胀,因而无法获得双侧边墙都很好的测量结果,而要得到较好的单侧边墙,应选用纳米管尖端偏向微悬臂夹紧端的针尖.
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